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OP-PAI系列真蜂窩氣浮隔振光學平臺 ? 水平方式:自動充氣,自動平衡 ? 固有頻率:1~1.5Hz ? 重復定位精度:±0.10mm ? 臺面材料:SUS430高導磁不銹鋼 ? 臺面內(nèi)部結構:隔離杯真蜂窩內(nèi)芯 ? 臺面厚度:100/200/250mm ? 平面度:0.1mm/600mm×600mm ? 臺面粗糙度:≤0.8μm
OP-AI系列氣浮隔振光學平臺 ? 固有頻率:<1.2~2Hz ? 重復定位精度:±0.10mm ? 臺面材料:SUS430高導磁不銹鋼 ? 臺面厚度:100/200/250mm ? 平面度:≤0.05mm/m2 ? 臺面粗糙度:≤0.8μm,局部可達0.4μm ? 氣浮支架:雙層氣室,3個真空管水平調(diào)節(jié)閥,四或六支撐腿 ? 臺面加支架總高度800mm,總高度可調(diào)范圍:-20~+20
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