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產(chǎn)品中心光譜系統(tǒng)顯微缺陷膜厚高速相位差測(cè)量裝置 RE-200
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
● 可測(cè)從0nm開(kāi)始的低（殘留）相位差● 光軸檢出同時(shí)可高速測(cè)量相位差(Re.)（相當(dāng)于世界jie最zui快速的0.1秒以下來(lái)處理）● 無(wú)驅(qū)動(dòng)部，重復(fù)再現(xiàn)性高● 設(shè)置的測(cè)量項(xiàng)目少，測(cè)量簡(jiǎn)單● 測(cè)量波長(zhǎng)除了550nm以外，還有各種波長(zhǎng)● Rth測(cè)量、全quan方位角測(cè)量（需要option的自動(dòng)旋轉(zhuǎn)傾斜治具● 通過(guò)與拉伸試驗(yàn)機(jī)組合，可同時(shí)評(píng)價(jià)膜的偏光特性和光弾性(本系統(tǒng)屬特注。）
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● 什么是RE-200
● RE-200是光子結(jié)晶素子（偏光素子）、CCD相機(jī)構(gòu)成的偏光計(jì)測(cè)模塊和透過(guò)的偏光光學(xué)系相組合，可高速且高精度的測(cè)量位相差（相位差）、及主軸方位角。CCD相機(jī)1次快門(mén)獲取偏光強(qiáng)度模式，沒(méi)有偏光子旋轉(zhuǎn)的機(jī)構(gòu)，系統(tǒng)整體上是屬于小型構(gòu)造，長(zhǎng)時(shí)間使用也能維持穩(wěn)定的性能。
執(zhí)行擬合/傅立葉變換以計(jì)算橢圓度 ε 和方位角 γ。
| 型號(hào) | RE series |
|---|---|
| 樣品尺寸 | 最小10×10mm ～最大100×100mm |
| 測(cè)量波長(zhǎng) | 550nm （標(biāo)準(zhǔn)仕樣）※1 |
| 相位差測(cè)量范圍 | 約0nm ～約1μm |
| 軸檢出重復(fù)精度 | 0.05°（at 3σ） ※2 |
| 檢出器 | 偏光計(jì)測(cè)模塊 |
| 測(cè)量光斑直徑 | 2.2mm×2.2mm |
| 光源 | 100W 鹵素?zé)艋?LED光源 |
| 本體?重量 | 300(W) × 560(H) ×430（D) mm 、約20kg |
Option
● Rth測(cè)量、全quan方位角測(cè)量※治具本體（旋轉(zhuǎn)：180°, 傾斜：±50°）
● 動(dòng)旋轉(zhuǎn)傾斜治具
視角改善膜A
視角改善膜B
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