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產(chǎn)品中心光譜系統(tǒng)顯微缺陷膜厚相位差測(cè)量裝置 RETS-100nx New
產(chǎn)品簡介
采用了偏光光學(xué)系和多通道分光檢出器有可對(duì)應(yīng)各種尺寸的裝置，從1mm大小的光學(xué)素子到第10代的大型基板安全對(duì)策和粒子對(duì)策，可對(duì)應(yīng)液晶line內(nèi)的檢查設(shè)備
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● 有可對(duì)應(yīng)各種尺寸的裝置，從1mm大小的光學(xué)素子到第10代的大型基板
● 安全對(duì)策和粒子對(duì)策，可對(duì)應(yīng)液晶line內(nèi)的檢查設(shè)備
● 封入cell gap
● twist角
● rubbing角
● pretilt角［TN,IPS,FFS,MVA］
● 空cell gap
● 相位差（復(fù)折射相位差）的波長分散
● 光學(xué)軸
● 橢圓率/方位角
● 三次元折射率/Rth/β
● 分光光譜/色度
● 液晶cell
- 透過、半透過型液晶cell（TFT、TN、STN、IPS、VA、OCB、強(qiáng)感應(yīng)電）
- 反射型液晶cell（TFT、TN、IPS、VA）
● 光學(xué)材料
- 其他（相位差?橢圓?偏光膜、液晶材料）
| 型號(hào) | RETS series |
|---|---|
| 樣品尺寸 | 20mm×20mm ～ * |
| cell gap測(cè)量范圍 | 0.1μm ～ 數(shù)10μm |
| cell gap重復(fù)性 | ±0.005μm |
| 檢出器 | 多通道分光光度計(jì) |
| 測(cè)量波長范圍 | 400nm ～ 800nm |
| 光學(xué)系 透過用偏光子unit | 偏光光學(xué)系 消光比 10-5內(nèi)置Gran-tomson prism（方解石） 自動(dòng)旋轉(zhuǎn)（角度精度0.1°）、自動(dòng)裝卸機(jī)構(gòu) |
| 測(cè)量口徑 | φ2, φ5, φ10 (mm) |
| 光軸傾斜機(jī)構(gòu) | -20 ～ 45°、-45 ～ 45°等 |
* 大型玻璃基板也可用（2000mm×2000mm以上）
公司郵箱： qgao@buybm.com
服務(wù)熱線： 021-61052039
公司地址： 上海市浦東新區(qū)疊橋路456弄?jiǎng)?chuàng)研智造C7區(qū)301室
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